空气中的微粒在光的照射下会发生散射,这种现象叫光散射。光散射和粒子大小、光波波长、微粒折射率及微粒对光的吸收特性等因素有关。但是就散射光强度和空气粒子大小而论,有一个基本的规律,是微粒散射光的强度随微粒的表面积增加而增大。这样只要测定散射光的强度就可推断微粒的大小了,这就是
粒子计数器的基本工作原理。
实际上,每个粒子产生的散射光强度都较弱,是一个非常小的光脉冲,需要通过光电转换器的放大作用,把光脉冲转化为信号幅度大些的电脉冲,然后在经过电子线路的进一步放大和甄别,从而完成对大量电脉冲的计数工作。此时,电脉冲数量对应的是微粒的个数,电脉冲的幅度对应的是微粒的大小。
粒子计数器的详细工作原理:来自光源的光线被透镜组1聚焦于测量腔内,当空气中的每一个微粒快速的地通过测量腔时,会把入射光散射一次,形成一个光脉冲信号。这一光信号经过透镜组2被送到光检测器,正比地转换成电脉冲信号,再经过仪器电子线路的放大、甄别,拣出需要的信号,通过计数系统显示出来。
流量有0.1cfm(2.83L/min),1cfm(28.3L/min),还有50L/min,100L/min,流量越大,每分钟采集的空气数据越多,也就越能代表洁净室的真实洁净度水平。都采用的是“立方英尺"换算成的“升"。1立方英尺=28.3168升。
粒子计数器原来都是根据的标准来的生产的,生产的是0.1立方英尺/升的东西,就是2.83L/min的。所以,一般建议用28.3L/min或以上的流量的粒子计数器。