空气中的微粒在光的照射下会发生散射，这种现象叫光散射。光散射和粒子大小、光波波长、微粒折射率及微粒对光的吸收特性等因素有关。但是就散射光强度和空气粒子大小而论，有一个基本的规律，是微粒散射光的强度随微粒的表面积增加而增大。这样只要测定散射光的强度就可推断微粒的大小了，这就是
粒子计数器的基本工作原理。
实际上，每个粒子产生的散射光强度都较弱，是一个非常小的光脉冲，需要通过光电转换器的放大作用，把光脉冲转化为信号幅度大些的电脉冲，然后在经过电子线路的进一步放大和甄别，从而完成对大量电脉冲的计数工作。此时，电脉冲数量对应的是微粒的个数，电脉冲的幅度对应的是微粒的大小。
粒子计数器的详细工作原理：来自光源的光线被透镜组1聚焦于测量腔内，当空气中的每一个微粒快速的地通过测量腔时，会把入射光散射一次，形成一个光脉冲信号。这一光信号经过透镜组2被送到光检测器，正比地转换成电脉冲信号，再经过仪器电子线路的放大、甄别，拣出需要的信号，通过计数系统显示出来。
流量有0.1cfm（2.83L/min），1cfm（28.3L/min），还有50L/min，100L/min，流量越大，每分钟采集的空气数据越多，也就越能代表洁净室的真实洁净度水平。都采用的是“立方英尺"换算成的“升"。1立方英尺=28.3168升。
粒子计数器原来都是根据的标准来的生产的，生产的是0.1立方英尺/升的东西，就是2.83L/min的。所以，一般建议用28.3L/min或以上的流量的粒子计数器。
